Allgemeine Beschreibung

Der Kreuztisch LPKF XY 25/25 GL ist ein Präzisionspositioniersystem mit monolithischem Granitunterbau. Beide Achsen werden durch je einen Linearmotor angetrieben, sind mit je 2 Präzisionsführungen versehen und besitzen einen hochauflösenden Linearmaßstab mit genauem Referenzpunkt. Durch die Kombination Linearmotor/ Präzisionsführungen können hochdynamische Lösungen im mittleren Verfahrbereich in sehr kompakter Bauweise realisiert werden.

Anwendung

Der LPKF XY 25/25 GL wurde speziell für den Einsatz in der Chipindustrie entwickelt. Er dient zum sehr schnellen und hochpräzisen Positionieren von Wafern oder anderen flachen Strukturen unter eingesetzter Meßtechnik. Dies betrifft z.B. Applikationen, wie:

• Waferbumper
• Waferprober
• Optische Inspektionssysteme für Wafer
• Präzise 3D-Messsysteme für Wafer

Optionen

Folgende Optionen werden von der LPKF Motion & Control GmbH kundenspezifisch realisiert:
• Aufrüstung mit kompakter Dreh-Hubeinheit
  (s. dazu auch LPKF Z-φ 2/20 und LPKF  Z-φ 2/190)
• Steuerung mit LPKF MotionSystem®
  (z.B. Synchronbetrieb bis 6 Achsen)
• Erhöhung der Genauigkeit durch präzisere Positionsmesssysteme
• CAA-Feldkorrektur
• 3D-Korrekturalgorithmus
• Einbindung in anwenderspezifische Maschinenkonzepte
• Zubehör und Schutzvorrichtungen
• Prüfprotokoll

Technische Parameter

Bewegungsbereich:	250 x 250 mm
Absolute Genauigkeit:	< 2 μm
Max. Geschwindigkeit:	300 mm/s
Nutzbare Beschleunigung:	1 m/s2