Präzisions-Kreuztisch mit hoher Z-Steifigkeit, direkten
2-dimensionalen Linearmotoren und Positionsmesssystem

Allgemeine Beschreibung

Der Präzisions-Kreuztisch LPKF XY 10/10 GLAP ist speziell für das präzise Positionieren von mechanisch zu bearbeitenden Teilen entwickelt worden. Ein weiteres breites Anwendungsgebiet ergibt sich beim Einsatz als Messtisch. Ein optional erhältliches Granitportal bietet die Möglichkeit der Befestigung einer Z-Achse, einer Frässpindel sowie ggf. erforderlicher Sensorik. In Kombination mit dem von LPKF entwickelten 3D-Korrekturalgorithmus sind Z-Fehler des Gesamtsystems korrigierbar. Für dynamischere Anwendungen kann der Zweikoordinatentisch LPKF HS HighSpeed G und GP eingesetzt werden.

Konstruktiver Aufbau

Der Präzisions-Kreuztisch LPKF XY 10/10 GLAP ist auf einer sehr massiven Granitplatte aufgebaut.
Ein kompakter, in der Ebene luftgeführter Schlitten, wird mittels Tauchspulen direkt 2-dimensional
angetrieben. Diese Motoren sind balanciert, d.h., durch das Fehlen magnetischer Anzugskräfte
zwischen bewegten und ruhenden Teilen gibt es keinen Einfluss der Antriebseinheiten auf die Führungsgenauigkeit. Im Schlitten integriert ist ein Kreuzrastermassstab, der 2-dimensional
abgetastet sowohl die Genauigkeit in den Achsen als auch die Lage der Achsen zueinander festlegt. Der Antrieb, das Messsystem und der Schlitten mit dem Objektträger bilden eine starre Einheit und werden gemeinsam auf vorgespannten aerostatischen Luftlagern geführt.

Optionen

• Portalanordnung zur Aufnahme von Zusatzbaugruppen
• Z-Achse mit unterschiedlichen Bewegungsbereichen
  und Genauigkeiten
• Optische Messtechnik

Technische Parameter

Bewegungsbereich:	100 x 100 mm²
Auflösung (kleinster Schritt):	20 nm
Wiederholgenauigkeit:	± 0,1 µm
Positioniergenauigkeit:	± 0,5 µm (bei 20° C ± 0,5° K)
Max. Geschwindigkeit:	100 mm/s
Max. Antriebskraft (XY):	30 N
Nutzlast:	5 kg
Z-Steifigkeit des Tisches:	100 N/µm

LPKF XY-KT 10/10 GLAP
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