Allgemeine Beschreibung

Der LPKF XY 60/60 GS ist ein luftgelagertes Präzisionspositionier- system mit monolithischem Granitunterbau. Der Antrieb erfolgt über Kugelumlaufspindeln mit DC-Servomotoren. Die Führung ist entlang hochpräziser Granitbahnen mit Luftlagern realisiert. Der Objekträger ist direkt zweidimensional in der Ebene geführt und vermeidet somit die typischen Kipp- und Nickfehler von seriell angeordneten Antriebsachsen. Jede Achse besitzt einen hochauflösenden Linearmaßstab mit genauem Referenzpunkt.
Für Anwendungen mit hoher Dynamik gibt es diese Tischvariante auch als System mit Linearmotor (s. dazu auch LPKF XY 60/60 GL)

Anwendung

Der Kreuztisch LPKF XY 60/60 GS wird insbesondere in Maschinen eingesetzt, die hohe Anforderungen an die Bahngenauigkeit bei mittlerer Dynamik stellen. Dies sind z.B.:

• Laserschneid- und Graviersysteme (z.B. Fotoschablonen)
• Feinfühlige Mikromontagesysteme
• Optische Inspektionssysteme
• Anlagen der Medizintechnik

Optionen

• Ausleger- oder Portalaufbau zur Aufnahme von Zusatzbaugruppen
• Z-Achse mit unterschiedlichen Bewegungsbereichen oder
  Genauigkeiten
• Dreh-/Schwenkeinheit
• Mehrachs-Anordnungen
• Vakuumspanntisch
• Untergestell aus Stahl
• Erhöhung der Genauigkeit durch Fehlerkompensation
  in beiden Achsen nach Laserkalibrierung
• Erhöhung der Führungsgenauigkeiten durch Tolerierung der
  Führungsflächen
• Bereichsabsicherung im Umkreis der Anlage
• Erhöhung der Auflösung

Technische Parameter

Bewegungsbereich:	600 x 600 mm
Messsystemgenauigkeit:	bei 20 ± 0,5°C  ± 3 µm
Führungsgenauigkeit:(Gier- und Nickwinkel)	< 5 sek
erreichbare Genauigkeit:(ohne CAA-Korrektur)	5 + L/200 µm
Max. Geschwindigkeit:	150 mm/s
Max. Beschleunigung:	< 0,1 g
Wiederholgenauigkeit:	< 2 µm
Druckluftversorgung:	6 bar
Luftverbrauch:	ca. 1.000 l/h
Zusatzmasse:	ca. 50 kg
Gesamtgewicht:	ca. 2.250 kg
Aufstellmaße:	1690 x 1680 x 940 mm

Die Tischversion LPKF XY 60/60 GL mit Linearmotor erreicht eine deutlich höhere dynamische Steifigkeit und Genauigkeit, da die elastischen Übertragungsglieder (Spindeln) entfallen.

LPKF XY 60_60
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