Hub-Dreheinheit mit Tauchspulenantrieb
Bewegungsbereich 20 mm, +/- 10°

Die Hub-Dreheinheit LPKF Z-φ 2/20 ist speziell für das extrem schnelle und präzise Positionieren von Wafern in Ausrüstungen der Chipindustrie entwickelt worden. Wegen ihrer sehr kleinen, leichten und kompakten Bauweise ist sie auch zum Aufbau auf LPKF-Kreuztischen geeignet. In Kombination mit dem von LPKF entwickelten 3D-Korrekturalgorithmus sind Z-Fehler des Gesamtsystems korrigierbar. Vakuumchucks können von LPKF optional angeboten werden. Für größere Drehbereiche (+/- 95°) kann die Hub-Dreheinheit LPKF Z-φ 2/190 eingesetzt werden.

z-φ 2/190
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