Präzise Linearachse mit Spindel- oder Linearmotorantrieb und
luftgelagertem Schlitten, erweiterbar um aufgebaute y-Achsen.

Technische Parameter:

Verfahrbereich:	1.000 mm
Absolute Genauigkeit:	5+L/200 µm (Spindel)
Absolute Genauigkeit:	+/-3 μm (Linearmotor)
Max. Verfahrgeschwindigkeit:	120 mm/s (Spindel) 500 mm/s (Linearmotor)